石墨舟烘箱與普通烘箱本質(zhì)的區(qū)別是防腐性能的不同。石墨舟酸洗浸泡6-8小時，之后進行清水洗，然后用N2或CAD將石墨舟表面水分吹掃，再用石墨舟烘箱進行烘干。所以可想而知石墨舟烘箱的耐腐蝕性能一定要強，否則很容易導(dǎo)至酸性液體滲透至箱體內(nèi)部，造成可挽回的損失。石墨舟烘箱在內(nèi)部材料選擇上也要特殊要求，選擇耐腐蝕性能好的不銹鋼板材，制作工藝上要求技術(shù)成熟，焊縫焊點做好拋光打磨處理。耐普通烘箱一般只要求溫度均勻，結(jié)構(gòu)優(yōu)良，智能操作，便于維修即可，對防腐性能的要求不是很高，所以普能烘箱在生產(chǎn)成本上要比石墨舟烘箱低很多。
石墨舟的維護主要包括以下幾個方面：
清潔和烘干：石墨舟在使用過程中會積累污垢和殘留物，因此需要定期清潔和烘干。清潔石墨舟時，可以使用無腐蝕性的清潔劑，并使用軟毛刷或無絨布進行擦拭。烘干石墨舟時，應(yīng)將其放置在100-120攝氏度的烘箱中烘干10-12小時。
檢查和維修：石墨舟在使用過程中可能會發(fā)生損壞，因此需要定期檢查。檢查時，應(yīng)檢查石墨舟的表面是否有裂紋、磨損或其他損壞。如果發(fā)現(xiàn)損壞，應(yīng)及時維修或更換。
存儲：石墨舟在使用完畢后，應(yīng)存放在干燥、清潔的環(huán)境中。存儲時，應(yīng)將石墨舟放置在水平表面上，并用防塵罩進行保護。
石墨舟是用于半導(dǎo)體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護對于確保其正常運行和延長使用壽命至關(guān)重要。
干燥箱又名“烘箱”，分為鼓風干燥和真空干燥兩種，鼓風干燥就是通過循環(huán)風機吹出熱風，箱內(nèi)溫度平衡，真空干燥是采用真空泵將箱內(nèi)的空氣抽出，讓箱內(nèi)大氣壓低于常壓，使產(chǎn)品在一個很干凈的狀態(tài)下做試驗，是一種常用的儀器設(shè)備，主要用來干燥樣品，也可以提供實驗所需的溫度環(huán)境。
目前國內(nèi)干燥箱的保溫材質(zhì)主要是以纖維棉為主，少數(shù)采用聚氨酯，下面談?wù)剝煞N材質(zhì)的不同特點。從保溫效果來講，聚氨酯的耐溫與絕熱效果要好于纖維棉，一般聚氨酯可以使箱體內(nèi)的高溫在大幾個小時內(nèi)保持穩(wěn)定，值得一提的是，聚氨酯的絕熱性能，可有效地防止箱體外溫度過高燙傷操作員。纖維棉材質(zhì)的干燥箱在高溫時，只能靠溫度控制器不停的控制與調(diào)節(jié)，保持箱內(nèi)溫度的穩(wěn)定，這樣大大增加了風機與控制器的工作強度，從而降低了干燥箱的使用壽命。再從后期維護來講，由于聚氨酯是整個注塑到箱體內(nèi)的，后期維修時特別繁瑣，維修前需要將聚氨酯全部掏出來，修好后再注塑進去。而纖維棉不會這么麻煩，操作簡單。后從市場上講，纖維棉的價格非常便宜，且可滿足大部分的保溫要求，運用廣泛，武漢尚測建議：纖維棉越細，厚度越大，保溫質(zhì)量越高。干燥箱的密封一般都是采用的硅橡膠，密封效果很好。
真空干燥箱的優(yōu)點包括：干燥速度快、；可降低樣品在高溫下變質(zhì)的可能性；可避免空氣中的氧氣對樣品產(chǎn)生氧化作用；可減少能源消耗，因為可以在較低的溫度下實現(xiàn)干燥。然而，真空干燥箱也存在一些不足之處，例如：需要定期維護和保養(yǎng)；對樣品形狀和大小有一定限制；不能干燥所有類型的樣品。
所屬分類：產(chǎn)品加工機械/烘箱
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