電子束焊接（EBW）是一種融合焊接工藝，其中將高速電子束施加到兩種要連接的材料上。當(dāng)電子的動(dòng)能在撞擊時(shí)轉(zhuǎn)化為熱量時(shí)，工件熔化并一起流動(dòng)。電子束焊接通常在真空條件下執(zhí)行，以防止電子束散逸。

設(shè)備包括：

電子槍?zhuān)a(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機(jī)械手（定位機(jī)構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

通過(guò)聚焦透鏡后，光束可以直接或通過(guò)偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)偏轉(zhuǎn)后用于焊接。它由兩對(duì)線圈組成，每個(gè)X和Y方向一個(gè)。這些可以用于“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”偏轉(zhuǎn)。靜態(tài)偏轉(zhuǎn)對(duì)于通過(guò)焊接定位梁很有用。動(dòng)態(tài)偏轉(zhuǎn)是通過(guò)向偏轉(zhuǎn)線圈提供可由計(jì)算機(jī)控制的電流來(lái)實(shí)現(xiàn)的。這為電子束應(yīng)用開(kāi)辟了新的可能性，例如表面硬化或退火，的電子束定位等。

快速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當(dāng)?shù)碾娮釉O(shè)備）。在這種情況下，設(shè)備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類(lèi)似的模式下，由計(jì)算機(jī)控制的細(xì)光束可以通過(guò)熔化薄的表面層在金屬表面“寫(xiě)”或“畫(huà)”圖片。

即使沒(méi)有在真空中實(shí)現(xiàn)，電子束焊接也永遠(yuǎn)不能“手動(dòng)”進(jìn)行，因?yàn)槭冀K會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的X射線。梁和工件的相對(duì)運(yùn)動(dòng)通常是通過(guò)工件的旋轉(zhuǎn)或線性移動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。在某些情況下，可通過(guò)計(jì)算機(jī)控制的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)移動(dòng)光束來(lái)實(shí)現(xiàn)焊接。工件機(jī)械手大多是單設(shè)計(jì)的，可以滿足焊接設(shè)備的特定要求。

高壓設(shè)備還為陰極加熱提供5 V以上的低壓，為控制電極提供高達(dá)約1000 V的負(fù)電壓。電子槍還需要用于校正系統(tǒng)，聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的低壓電源。如果要提供計(jì)算機(jī)控制的成像，雕刻或類(lèi)似的光束應(yīng)用，后提到的可能會(huì)非常復(fù)雜?？赡苓€需要復(fù)雜的電子設(shè)備來(lái)控制工件機(jī)械手。

電子束焊機(jī)加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負(fù)電荷的電子束高速飛向陽(yáng)極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過(guò)電磁透鏡聚集，使能量密度十分會(huì)集，可以把一千瓦或更高的功率會(huì)集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達(dá)109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬(wàn)分之一秒時(shí)間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來(lái)不及向周?chē)鷶U(kuò)散，就已把局部材料瞬時(shí)熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機(jī)照耀點(diǎn)亦越深入。由于孔的內(nèi)側(cè)壁對(duì)電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點(diǎn)或許到達(dá)很深的深度，從而可打出很細(xì)很深的微孔。

電子束焊是熔化焊的一種，它運(yùn)用集聚的高速電子束炮擊工件接縫，發(fā)生熱能從而使金屬熔合。真空電子束焊機(jī)提示它包含了機(jī)械、真空、高電壓和電磁場(chǎng)理論、電子光學(xué)、自動(dòng)控制和計(jì)算機(jī)等多學(xué)科技術(shù)。這也是干式螺桿真空泵廠家要講的，真空體系中常用焊接辦法的第三種。

宇航技術(shù)中所用各類(lèi)火箭、衛(wèi)星、飛船、空間站、太陽(yáng)能電站等的結(jié)構(gòu)件、發(fā)動(dòng)機(jī)以及各種儀器均需用焊接技術(shù)來(lái)完結(jié)，電子束焊接將是完結(jié)空間結(jié)構(gòu)焊接和滿足其需求的強(qiáng)有力技術(shù)。且跟著設(shè)備、技術(shù)等國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)的增強(qiáng)，及電子束焊接等技術(shù)對(duì)焊材及人工本錢(qián)的大幅下降優(yōu)勢(shì)逐漸趨于明顯等，國(guó)內(nèi)電子束焊機(jī)等電子束金屬加工設(shè)備工作展開(kāi)將迎來(lái)利好趨勢(shì)，給電子束焊機(jī)的展開(kāi)增添了新的生機(jī)。