設(shè)備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機(jī)械手（定位機(jī)構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

真空工作室可以具有任何期望的體積，從幾升到幾百立方米。它們可以配備電子槍，以提供任何所需的功率高達(dá)100 kW的電子束，如果需要，甚至更高。在微電子束裝置中，尺寸可以到十分之一毫米的部件可以被焊接。在具有足夠高功率電子束的焊機(jī)中，可以實(shí)現(xiàn)300 mm深的焊接。還有一些焊接機(jī)，其中電子束從真空中帶到大氣中。使用這種設(shè)備，無需的工作室即可焊接非常大的物體。

即使沒有在真空中實(shí)現(xiàn)，電子束焊接也永遠(yuǎn)不能“手動”進(jìn)行，因?yàn)槭冀K會產(chǎn)生強(qiáng)烈的X射線。梁和工件的相對運(yùn)動通常是通過工件的旋轉(zhuǎn)或線性移動來實(shí)現(xiàn)的。在某些情況下，可通過計算機(jī)控制的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)移動光束來實(shí)現(xiàn)焊接。工件機(jī)械手大多是單設(shè)計的，可以滿足焊接設(shè)備的特定要求。

電子束焊機(jī)加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負(fù)電荷的電子束高速飛向陽極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會集，可以把一千瓦或更高的功率會集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達(dá)109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴(kuò)散，就已把局部材料瞬時熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機(jī)照耀點(diǎn)亦越深入。由于孔的內(nèi)側(cè)壁對電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點(diǎn)或許到達(dá)很深的深度，從而可打出很細(xì)很深的微孔。

電子束焊是熔化焊的一種，它運(yùn)用集聚的高速電子束炮擊工件接縫，發(fā)生熱能從而使金屬熔合。真空電子束焊機(jī)提示它包含了機(jī)械、真空、高電壓和電磁場理論、電子光學(xué)、自動控制和計算機(jī)等多學(xué)科技術(shù)。這也是干式螺桿真空泵廠家要講的，真空體系中常用焊接辦法的第三種。

電子束焊技術(shù)早于1948年源起于德國，1952年制作了臺電子束加工機(jī)，1958年誕生了臺電子束焊機(jī)。真空電子束焊機(jī)提示它的基本原理是：真空條件下，電子槍發(fā)射的電子束在高電壓（通常是20kV～300kV）加快下（0.3～0.7倍的光速），通過電磁透鏡聚集成高能量密度的電子束，當(dāng)電子束炮擊工件時，電子的動能轉(zhuǎn)化為熱能，焊區(qū)的部分溫度突然上升到6000℃以上，使工件材料熔化，完結(jié)焊接。