設(shè)備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機械手（定位機構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

即使沒有在真空中實現(xiàn)，電子束焊接也永遠不能“手動”進行，因為始終會產(chǎn)生強烈的X射線。梁和工件的相對運動通常是通過工件的旋轉(zhuǎn)或線性移動來實現(xiàn)的。在某些情況下，可通過計算機控制的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)移動光束來實現(xiàn)焊接。工件機械手大多是單設(shè)計的，可以滿足焊接設(shè)備的特定要求。

高壓設(shè)備還為陰極加熱提供5 V以上的低壓，為控制電極提供高達約1000 V的負電壓。電子槍還需要用于校正系統(tǒng)，聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的低壓電源。如果要提供計算機控制的成像，雕刻或類似的光束應(yīng)用，后提到的可能會非常復(fù)雜。可能還需要復(fù)雜的電子設(shè)備來控制工件機械手。

真空分散焊焊接特色：
(1)接頭強度高。特別適用于選用熔焊易產(chǎn)生裂紋的資料的焊接，由于不改動母材性質(zhì)，因而接頭化學(xué)成分、組織性能與母材相同或接近，接頭強度高。
(2)可焊接資料品種多。真空擴散焊機可焊接多種同類金屬及合金，同時還能焊接許多異種資料。如果選用加過渡合金層的真空分散焊，還能夠焊接物理化學(xué)性能差異很大，高溫下易構(gòu)成脆性化合物的異種或同種資料。
(3)可用于需要大面積結(jié)合的零部件、疊層構(gòu)件、中空型構(gòu)件、多孔型或具有雜亂內(nèi)部通道的構(gòu)件、封閉性內(nèi)部結(jié)合件以及其他焊接辦法可達性差的零部件的制造。
(4)真空擴散焊機分散焊接為整體加熱，構(gòu)件變形小、尺度精度高

電子束焊是熔化焊的一種，它運用集聚的高速電子束炮擊工件接縫，發(fā)生熱能從而使金屬熔合。真空電子束焊機提示它包含了機械、真空、高電壓和電磁場理論、電子光學(xué)、自動控制和計算機等多學(xué)科技術(shù)。這也是干式螺桿真空泵廠家要講的，真空體系中常用焊接辦法的第三種。

電子束焊按被焊工件所在環(huán)境的真空度可分為三種：高真空電子束焊，低真空電子束焊和非真空電子束焊：
高真空電子束焊在10-4～10-1Pa的壓強下進行。真空條件，可以對熔池的“維護”防止金屬元素的氧化和燒損，適用于活性金屬、難熔金屬和質(zhì)量要求高的工件的焊接。
低真空電子束焊在10-1～10Pa的壓強下進行，也具有束流密度和功率密度高的特征。由于只需抽到低真空，縮短了抽真空時間，提高了出產(chǎn)率，適用于批量大的零件的焊接和在出產(chǎn)線上運用。