保養(yǎng)方法
日保養(yǎng)

1． 打掃表面及內(nèi)腔灰塵，保持機(jī)器干凈、衛(wèi)生。

2． 檢查電流表電流跟正常時(shí)是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

3． 突然停電，要把加熱開關(guān)關(guān)閉，防止來電時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)。

4． 檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常，有無(wú)異常聲音，如有立即關(guān)閉機(jī)器并通知維修工檢修。

月保養(yǎng)

1． 檢查通風(fēng)口是否堵塞，并清理積塵。

2． 風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。

3． 維修工檢查電流是否正常。

4． 檢查溫控器是否準(zhǔn)確，如不準(zhǔn)確，請(qǐng)調(diào)整溫控器的靜態(tài)補(bǔ)償或傳感器修正值。

5． 檢查發(fā)熱管有無(wú)損壞，線路是否老化。

6． 檢查延時(shí)器是否準(zhǔn)確，誤差是否允許。

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認(rèn)電氣是否正常
(2)將欲烘烤產(chǎn)品放置烘箱內(nèi)
(3)開啟電源開關(guān)并調(diào)整溫控儀表適當(dāng)溫度與加熱恒溫時(shí)間。( 4)開啟鼓風(fēng)開關(guān)，開啟加熱開關(guān)，開始工作
2.無(wú)塵潔凈烘箱工作中:
(1)專心操作并配戴防護(hù)器具
(2)操作人員嚴(yán)禁離開加工區(qū)

無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

按動(dòng)“加熱”開關(guān)（加熱器通電），無(wú)塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據(jù)工藝要求設(shè)定溫度，當(dāng)臺(tái)車烘箱溫度上升接近設(shè)定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺(tái)車烘箱進(jìn)入恒溫工作。無(wú)塵潔凈烤箱操作結(jié)束后應(yīng)立即關(guān)閉電源開關(guān)，做好無(wú)塵潔凈烤箱的清潔和保養(yǎng)工作。無(wú)塵潔凈烤箱正面上方設(shè)有一圓形進(jìn)氣口，調(diào)節(jié)進(jìn)氣口大小可調(diào)節(jié)烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據(jù)實(shí)際情況合理調(diào)節(jié)進(jìn)排氣量，一般無(wú)塵潔凈烤箱剛開始啟動(dòng)或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門，以利無(wú)塵潔凈烤箱的溫度上升，當(dāng)無(wú)塵潔凈烤箱內(nèi)溫度較高時(shí)打開進(jìn)氣門，以利于水分排出。

一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達(dá)到內(nèi)部無(wú)塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過濾裝置（又分為千級(jí)和百級(jí)過濾器）。烘箱內(nèi)的空氣通過回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過循環(huán)通道再次加熱，后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外，另外要盡量避免工作過程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

無(wú)塵烤箱是一種用于制造、低污染的產(chǎn)品的設(shè)備。它的原理是將材料在高溫環(huán)境下烤制，可以有效地降低灰塵的排放，預(yù)防材料在烤箱內(nèi)變質(zhì)。在過去，制作特定產(chǎn)品時(shí)，在低溫下烘烤，因此產(chǎn)生的灰塵量很大。通過使用無(wú)塵烤箱，可以有效地降低灰塵污染產(chǎn)品的質(zhì)量和潔凈度。