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青島福潤德LED爐

更新時間:2024-11-04 [舉報]
LED爐主要滿足LED芯片制造行業(yè),對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。 主要性能指標:
外型形式:臥式1—4管結(jié)構(gòu),水平爐管
工作溫度:200℃—1100℃
恒溫區(qū)長度:≥600mm
硅片規(guī)格:適用于2—6英寸硅片以及碎片
恒溫區(qū)精度:≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi))
單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性:≤±1℃/24h(在400—1000℃范圍內(nèi))
溫度過沖平衡:載料進爐,溫度平衡到工藝時間,低于10分鐘
工藝氣體及控制:氮氣、氧氣,MFC或浮子流量計控制
氣路系統(tǒng)氣密性:1×10-7PaM3/S
送料機構(gòu):懸臂石英桿載料,手動
報警系統(tǒng):工藝氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
控制方式:工控機總程控制、觸摸屏控制
標簽:福潤德
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
  • 張琪
  • 山東青島市城陽區(qū)棘洪灘街道前海西社區(qū)韓海路南端
  • 13606426381

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