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江蘇啟東分子泵回收江蘇啟東直拉式單晶爐回收

更新時(shí)間:2025-09-15 [舉報(bào)]
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直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、專利名稱:直拉式單晶生長(zhǎng)爐的制作方法、技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種直拉式單晶生長(zhǎng)爐。背景技術(shù):圖1為切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的單晶爐剖面示意圖;圖1-2 中,l為爐筒,2為保溫蓋,3為保溫蓋,4為保溫材津牛,5為保溫罩,6為 加熱器,7為水套,8為石英堝,9為導(dǎo)流筒,IO為爐底護(hù)盤、12為輸 入管、11為分布有出氣孔11-1的環(huán)形氣體分布器、13為排氣口。直拉硅單晶在生長(zhǎng)過程中需要向爐內(nèi)不斷充入,并與爐內(nèi)生成的 一氧化硅及雜質(zhì)粉塵混合,由于單晶爐內(nèi)的加熱器和坩堝支持器等均由石 墨制成, 一氧化硅易腐蝕所述石墨制成的器件且雜質(zhì)粉塵易吸附在這些器 件上,從而影響了單晶爐的使用壽命。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長(zhǎng)晶爐回收,多晶長(zhǎng)晶爐回收,臥式長(zhǎng)晶爐回收,拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,由于數(shù)值模擬提供了一個(gè)近似真實(shí)的過程,利用這一技術(shù)可以很容易的對(duì)任何類型的變化(幾何尺寸、保溫材料、加熱器、環(huán)境等)對(duì)晶體質(zhì)量的影響做出容易的判斷。數(shù)值仿真是用來獲得廉價(jià)的,完整的和細(xì)節(jié)的結(jié)晶過程,以此方法用來預(yù)測(cè)晶體生長(zhǎng),改善晶體生長(zhǎng)技術(shù)。舉例來說,對(duì)于無經(jīng)驗(yàn)人員,可以形象化展示熔體流動(dòng)的歷史點(diǎn)缺陷和熱應(yīng)力細(xì)節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達(dá)到較高生產(chǎn)率和較好滿足市場(chǎng)對(duì)晶體直徑,質(zhì)量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計(jì)算機(jī)模擬可以設(shè)計(jì)和優(yōu)化工作流程。通過對(duì)單晶爐熱場(chǎng)的仿真計(jì)算,優(yōu)化設(shè)計(jì)單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu),在拉晶過程中以仿真結(jié)果設(shè)定合理的理論拉晶曲線可以在實(shí)際生產(chǎn)中是完全可以生長(zhǎng)出合格的單晶硅棒。
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江蘇啟東分子泵回收 江蘇啟東直拉式單晶爐回收結(jié)合單晶爐提拉系統(tǒng)實(shí)際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了系統(tǒng)UG三維實(shí)體建模、動(dòng)平衡數(shù)學(xué)建模、計(jì)算以及提拉系統(tǒng)動(dòng)平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動(dòng)平衡分析、計(jì)算的結(jié)果明,提拉系統(tǒng)配平效果即動(dòng)平衡效果是比較好的。隨后,針對(duì)某型號(hào)單晶爐提拉系統(tǒng)的實(shí)際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計(jì)算,三維軟件UG建模計(jì)算和該設(shè)備“以動(dòng)測(cè)靜”法的平衡實(shí)驗(yàn)
標(biāo)簽:直拉式單晶爐回收
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