潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗潔凈室質量的核心標準,該標準根據區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內區(qū)域行業(yè)標準
潔凈技術,即玷污控制(Contamination Control)技術。指的是:對象(產品、人及動物)在被加工、處置、治療、防護及實驗等過程中,對其所處環(huán)境內玷污物(影響對象的加工、處置、治療等質量、合格率或成功率的物質)進行控制的技術。
無塵車間主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵車間。